シリコンとゲルマニウムによるコア-シェル構造ナノワイヤ中のホウ素分布の観察

(2016/11/2)
シリコンとゲルマニウムによるコア-シェル構造ナノワイヤ中のホウ素分布の観察
Yasu_Shimizu_nanoscale_2016
3次元アトムプローブ分析技術を半導体ナノワイヤに適用して、その内部の元素分布を調べた。本研究ではp型ドーパントのホウ素に着目し、シリコンとゲルマニウムによるコア-シェル構造ナノワイヤ中のホウ素分布を明らかにした。
Nanoscale
Vol .8, 19811 (2016)

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