シリコン酸化膜に埋め込まれた単層シリコンナノ結晶の形状・サイズ・密度変化の追跡 ~3次元アトムプローブを用いた研究~

(2015/12/22)
シリコン酸化膜に埋め込まれた単層シリコンナノ結晶の形状・サイズ・密度変化の追跡
~3次元アトムプローブを用いた研究~
Yasu_ShimizuRSCAdv2016
最先端の3次元アトムプローブを用いてシリコンナノ結晶を直接観察し、実空間上での形状・サイズ・密度変化を調べた。ナノ結晶の成長条件を決定する上で重要な知見となる。
RSC Advances
Vol .6, 3617 (2016)

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